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大气机械手SRBJ1A-AD4401

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT TRACK

MIAOXIE: GAOGANJINGPINJI,GAOSUCHUANPIAN,PENGZHUANGYANHU,Mapping,SEMIRENZHENGS2,F47,FENGYINGTEXINGHUASHEXIANGSHOUZHIJIJIEKOUYONGHUKEDINGZHI。

简介

Introduction

OUHECHUANDONG、SIFUQUDONG、GANJINGCHUANDONGJIGUANGHUA、SCARASHOUBEIGUIHUA,JUBEIZHANYONGKONGJIANXIAO、DASHENSUOBI、GAOJINGDU、GAOGANJINGDUDENGZHANGCHU。FENGYINGTEXINGHUASHEXIANG,SHOUZHIJIJIEKOUYONGHUKEDINGZHI,SHOUJIHUAJIEZHITIXI,GAOSUCHUANPIANXIAOLIHEPENGZHUANGYANHUGONGXIAO,SEMIRENZHENGS2、F47,MCBFDAYU1000WANCI。DANRENSHIXIANJINGYUANZAIFOUP、HUANCHONGSHI、GONGYIWEIZHIDENGZHIJIANDEZHUDONGCHUANDI。SHIBANDAOTIXINGYEDEYOUSHENGZHITIAOXUAN。

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参数

Parameter


规划情势Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload称号name晶圆wafer
直径diameterΦ200mm/Φ300mm
分量weight≤0.5kg
自在度数DOF4
手数目Number of Arm2
最大反转展转直径Maximum Swing diameter520mm

HUODONGGUIMO

Moving  Range
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis450mm
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis350°
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR760mm

ZUIDASULV

Maximum  Moving Speed
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis375mm/s
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis1100mm/s

FANFUDINGWEIJINGDU

Repeatability
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
干净度Clean ClassCLASS 1
主机分量Body Weight70 kg
电源Power SupplyVAC 220V±10%



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