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大气机械手SRBJ1A-AS3491

关键字导读: TRACK ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT

MIAOXIE: GAOGANJINGPINJI,GAOJINGDU,GAOSUCHUANPIAN,NAIQINSHI,PENGZHUANGYANHU,MappingGONGXIAO,SEMIRENZHENG,GONGJIJIEKOUJIJIEWEIDINGZHI。

简介

Introduction

DAQIJIXIESHOUPUBIANYONGYUGUIJINGYUANHELEDLANBAOSHIJIPIANBANYUN。SHOUBEIJIENAJINBUQIANBEIDEGUIHUAZENGQIANGLESHOUBEIDEGANGXING,BINGYOUYONGANNAZHENDONG,QINGLIANGHUASHEXIANGZHIZUGAOSUQINGQIU。BENTIDEZHIZUOGONGYIGAILIANGYOUYONGXIAJIANGBENQIAN,JINSHENGSHICHANGHEZUOLI。CAILIAO、JIAGONGHEWAIBIAOCHUZHIDUOFANGMIANYOUXUAN,YIWANCHENGGAOGANJINGDU。JUBEIDUOZHONGNINGJINGYANHUGONGXIAO。ZHOUBUHEWANBUJIAOJIEJIEZHI,SHIDEJIXIERENNENGGOUJIENASIYIZISHILAIQUFANGJINGYUAN,XUKEGENGDUODEPIANHEZHIXIANPAIBU,GENGJIELIUKONGJIAN,SHUNYINGXINGGENGQIANG。SHIBANDAOTIXINGYEDESHANGFENGZHIXUAN。


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参数

Parameter


规划情势Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload称号name晶圆wafer
直径diameterΦ200mm/Φ300mm
分量weight≤0.5kg
自在度数DOF3
最大反转展转直径Maximum Swing diameter520mm

HUODONGGUIMO

Moving  Range
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis330°
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-AxisR736mm

ZUIDASULV

Maximum  Moving Speed
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis330mm/s
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis360°
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis900mm/s

FANFUDINGWEIJINGDU

Repeatability
起落轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis±0.1 mm(3σ)
反转展转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis±0.01°(3σ)
舒展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis±0.1 mm(3σ)



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